作为半导体行业的关键元件,晶圆在半导体加工工序中需要在各个处理站之间快速、精确的传送。
现代的科技技术已经可以生产出纳米级厚度的晶圆,如此昂贵、精密、易碎的晶圆在传送过程中,如果依靠人工操作,很容易被损坏,且过程中会使晶圆表面受到污染。所以,真空机器人——真空晶圆搬送机械臂成为晶圆制造的核心设备之一。其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量,体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。
纳博特斯克为了满足真空晶圆搬送设备的洁净度和稳定性需求,推出了唇形真空密封件与精密减速机RV紧凑融合而成的齿轮头单元——HR系列。该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件,结构紧凑,且安装、使用方便,可有效缩短FPD搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间,且有相当高的安全性。
内部搭载的纳博特斯克精密减速机RV产品在精密减速机领域中已有30年以上的实绩,被广泛应用在世界范围内的制造业设备中。作为工业机器人关节部位的核心零部件,有着高精度、高刚性同时兼备小型、轻量的特点,在实现精密动作的同时,为设备提供强大的承载能力。根据不同的安装需求可替换组件品单元RV系列/附带对应多个公司伺服电机安装零件的RD2系列作为内部减速机的型号。
【产品规格】
【应用场景】