作为半导体行业的关键元件，晶圆在半导体加工工序中需要在各个处理站之间快速、精确的传送。 

现代的科技技术已经可以生产出纳米级厚度的晶圆，如此昂贵、精密、易碎的晶圆在传送过程中，如果依靠人工操作，很容易被损坏，且过程中会使晶圆表面受到污染。所以，真空机器人——真空晶圆搬送机械臂成为晶圆制造的核心设备之一。其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。 

纳博特斯克为了满足真空晶圆搬送设备的洁净度和稳定性需求，推出了唇形真空密封件与精密减速机RV紧凑融合而成的齿轮头单元——HR系列。该系列产品因采用不会破裂的接触式唇形密封件，结构紧凑，且安装、使用方便，可有效缩短FPD搬运用机器人、晶圆搬运装置的组装时间，且有相当高的安全性。

内部搭载的纳博特斯克精密减速机RV产品在精密减速机领域中已有30年以上的实绩，被广泛应用在世界范围内的制造业设备中。作为工业机器人关节部位的核心零部件，有着高精度、高刚性同时兼备小型、轻量的特点，在实现精密动作的同时，为设备提供强大的承载能力。根据不同的安装需求可替换组件品单元RV系列/附带对应多个公司伺服电机安装零件的RD2系列作为内部减速机的型号。

【产品规格】

【应用场景】